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干式真空泵應(yīng)用那些行業(yè)

點擊：2237 日期：2018-12-18 選擇字號：小中大

干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：容積式干式真空泵和動量傳遞式干式真空泵。不管哪類的干式真空泵，對其要求又有哪些呢？
一般對干式真空泵的要求為：清潔；安全；耐磨；造價低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動小，噪音低。只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價值。在清潔的要求方面，對于哪些用油潤滑的干式真空泵都有一個潛在的油蒸氣的污染源存在，要采取一定措施加以解決。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要應(yīng)用對象的干式真空泵，會在許多抽氣工藝過程中出現(xiàn)一些顆粒物，一般說來，在干式真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況：

1、當(dāng)泵內(nèi)壓力增高時引起氣固變相過程的發(fā)生；

2、在泵內(nèi)產(chǎn)生反應(yīng)氣體的生成物；

3、抽氣過程混入的顆粒物。

干式真空泵

干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型
式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染；
5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食　品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵。
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